在半導(dǎo)體工藝進(jìn)入7nm節(jié)點(diǎn)之后,EUV光刻機(jī)成了關(guān)鍵裝備,現(xiàn)在只有ASML一家能夠生產(chǎn)EUV光刻機(jī),主要客戶也只有三家——臺(tái)積電、Intel及三星。
由于供不應(yīng)求,EUV光刻機(jī)也成為三家廠商爭(zhēng)奪的焦點(diǎn),不過(guò)Intel的7nm工藝要到2022年,所以現(xiàn)在有EUV生產(chǎn)線的主要是臺(tái)積電、三星兩家。
在這場(chǎng)競(jìng)賽中,臺(tái)積電的EUV光刻機(jī)數(shù)量遙遙領(lǐng)先,據(jù)統(tǒng)計(jì),ASML近年來(lái)一共量產(chǎn)了100臺(tái)左右的EUV光刻機(jī),其中供應(yīng)給臺(tái)積電的就有70臺(tái),占了絕大多數(shù)份額,多數(shù)都是在最近一年中交付的。
三星集團(tuán)的掌門(mén)人李在镕去年專門(mén)拜訪了ASML公司,希望獲得更多的EUV光刻機(jī)供應(yīng),但縮短與臺(tái)積電的差距依然需要很多努力。
對(duì)三星來(lái)說(shuō),盡管EUV光刻機(jī)售價(jià)超過(guò)1億歐元,但三星并非買(mǎi)不起,與臺(tái)積電在EUV光刻機(jī)上的差距并非資本投資決定的,而是臺(tái)積電拉攏到了客戶,包括蘋(píng)果、AMD以及之前的華為,這是臺(tái)積電擴(kuò)充EUV生產(chǎn)線的關(guān)鍵。
相比之下,三星的EUV工藝客戶太少,除了自家的Exynos芯片之外,主要就是高通了,NVIDIA、IBM雖然也找三星代工了,但還沒(méi)有使用EUV生產(chǎn)線。
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