大基金二期再出手 投資這家半導(dǎo)體清洗設(shè)備公司

《科創(chuàng)板日報》（上海，編輯 鄭遠方），大基金又出新動向了，不過這次并非減持。今日盤后，至純科技公告，子公司至微科技擬引入戰(zhàn)略投資者，大基金二期和混改基金等入股。

根據(jù)公告，本次交易前，至微科技注冊資本為4.55億元，依據(jù)增資前至微科技25億元的估值，對應(yīng)5.4945元/注冊資本，本次遠致星火、大基金二期、混改基金、中芯聚源、裝備材料基金、芯鑫鼎橡、平潭溥博芯誠股權(quán)投資合伙企業(yè)（有限合伙）、上海芯晟至遠企業(yè)管理合伙企業(yè)（有限合伙）合計向至微科技增資4.2億元，其中7644萬元計入注冊資本，其余3.44億元計入資本公積。

圖|增資完成后至微科技股東信息

公開資料顯示，至微科技主營半導(dǎo)體濕法設(shè)備，其成立以來，已累計獲得來自各大集成電路制造領(lǐng)先企業(yè)的濕法設(shè)備訂單超過160臺，為國內(nèi)濕法設(shè)備主要供應(yīng)商之一。

而清洗制程是集成電路芯片制造的關(guān)鍵工藝，是集成電路工藝中重復(fù)次數(shù)最多的工藝，對良率有著重要影響。目前清洗工藝主要包括濕法和干法兩大類，其中濕法用途更廣，包括光刻膠去膠剝離及清洗、CMP后清洗、刻蝕后清洗以及薄膜沉積后清洗等清洗工藝。

2020年，至純科技濕法設(shè)備出貨量超過30臺，新增訂單5.3億元，增長211.8%。

7月，至純科技曾表示，公司28nm節(jié)點全部濕法工藝設(shè)備已認證完畢。分析人士預(yù)計，其14nm、7nm工藝2022年可供客戶驗證，客戶包括中芯國際、華虹集團、長鑫存儲、華為等。

一期減持 二期投資

值得注意的是，這是本月大基金的首次入股動向。上周五，兆易創(chuàng)新、晶方科技雙雙發(fā)布大基金減持計劃公告；不久之前，大基金還對瑞芯微、萬業(yè)企業(yè)、北斗星通、三安光電、雅克科技等多家半導(dǎo)體公司進行不同程度的減持，甚至一度引發(fā)市場恐慌情緒。

不過，實施減持的主要是大基金一期。多家機構(gòu)此前已表示，大基金一期通過投資半導(dǎo)體行業(yè)上市公司獲利頗豐，減持屬于正常市場操作。一期已按自身規(guī)劃，有序退出優(yōu)化投資結(jié)構(gòu)，2019-2023年已進入回收期。

大基金一期逐漸退出的同時，二期也在持續(xù)跟進。自去年首次出手，注資紫光展銳之后，大基金二期還陸續(xù)投資了中芯國際、華潤微、南大光電、佰維存儲等多家公司。

申港證券指出，大基金一期的良性退出，有利于大基金二期將資金針對性地投入到半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)鏈中較為薄弱的環(huán)節(jié)上來，以打造更良好的生態(tài)。安信證券、國海證券均認為，二期將圍繞半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)鏈，更聚焦上游的設(shè)備、材料領(lǐng)域，加大投資——今日入股至微科技的舉動，一定程度上也驗證了這一分析。

分析師看好規(guī)模超2000億的國家大基金二期撬動更廣泛的社會資金進場，為集成電路行業(yè)帶來更多資金和資源。雖然國內(nèi)部分半導(dǎo)體企業(yè)已實現(xiàn)從0到1的突破，但據(jù)國際先進水平仍存差距，仍需資金支撐，大基金的增持也有望支持企業(yè)未來長期成長，填補關(guān)鍵工藝空缺。

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